在SECS/GEM里面，recipe配方称为Process Recipe Management
Process Recipe Management — 设备处理规范（如配方）必须通过设备和主机系统之间的交互进行管理。
PPID也就是Process Recipe ID的意思
配方是怎么交互和处理呢
COMMENTS HOST EQUIPMENT COMMENTS
[IF] Process program is multiblock
[THEN]
<--S7,F1 Process Program Load Inquire
Process Program Load Grant S7,F2-->
[END_IF]
<--S7,F23 Formatted Process Program Send
Formatted Process Program
Acknowledge S7,F24-->
目的——工艺配方管理提供了一种传递工艺规范和共享主机和设备之间这些规范的管理。
流程程序——有关如何实施流程程序的详细信息
更多资料查看 www.semisecs.com 或
中国区SECS/GEM网站www.secsgem.cn
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