维修产品有：靶材电源维修；等离子电源维修；镀膜机电源维修；射频电源维修；ICP电源维修；镀膜机控制器维修；RF电源维修；匹配器维修；电源控制器维修；氧化源控制器维修；检测仪维修；IB电源维修；离子源维修；镭射切割机维修；镀膜厚仪维修；射线源维修等。
lumina电源维修常见故障：
无激光输出,风扇不转。
可以强制发光,不能主板控制发光。前级低压控制部分坏。
高压打火,高压线接头处太靠近铁壳部分。电流不能调节,电流控制部分坏。
在更换电源箱或主控箱内器件时，可做个记号，以便在更换时能正确接线。特别是有器件或大电流大功率器件特别要注意到这一点。否则会直接烧坏器件；
总是调空开,属于功率管短路坏。
电源输入的插头不能插错（老电源或主控箱可能会出现航插一样，其功能不一样，插错航插可能会引起内部控制板烧坏或内部器件损坏）；
箱内多处带有高电压，在上电后，手不能碰到器件的金属部分；
检查导电是否完好；在测量电压时，确认档位是否在电压档。要确认仪器仪表的量程应大于测试点的电压；
上电前，应检查负载是否接上是否正确；
在更换电源箱内器件前，先关掉电源后应将储能电容的正负端放电并用电压档确认无电压后，进行更换或维修。
在更换电源箱或主控箱内器件时，可做个记号，以便在更换时能正确接线。特别是有的元器件或大电流大功率器件特别要注意到这一点。否则会直接烧坏器件；
对于机器工作不稳定或工作时好时坏，可检查箱内主电路的螺钉、接线端子等等是否松动、接线端氧化等，老电源或使用环境差的电源应注意内部是否积了很多灰尘；如箱内积有很多油污且使用期限很长，不可修应报废处理。
在修理时，对于客户要求维修的电源，不能私自拆掉内部扎带、控制板、剪掉接线或到处乱接乱改，有可能会造成对整机干扰或性能下降，老电源因规范的问题，很多都没有接线图，可能会给维修带来很大难度，这就需要维修者的丰富的维修经验。针对老式电源，在现场无法维修，需要退回总公司时，上下连接线应一起退回，以便进行检测与维修。
通过快递寄修的电源或主控板应做好表面防震保护，防止面板划伤、变形或器件脱落，以免造成二次损坏，给维修工作也会带麻烦。
