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（1）半导体设备之sorter机（上）_晶圆倒片机-CSDN博客
00、背景：晶圆Sorter如何与生产线其他设备协同工作
晶圆Sorter的自动化传输系统是半导体制造过程中的关键组成部分，它与生产线上的其他设备协同工作，确保晶圆在整个制造过程中的精确、高效和安全处理。以下是晶圆Sorter自动化传输系统与生产线其他设备协同工作的方式：
>>>> 1. 集成与通信
自动化传输系统通过工业通信协议（如SEMI标准、Ethernet等）与生产线上的其他设备（如光刻机、刻蚀机、清洗机、检测设备等）进行集成和通信。这种集成确保了设备间的信息共享和指令传递，从而实现协同作业。
>>>> 2. 调度与控制
晶圆Sorter通常与工厂的中央控制系统或MES（制造执行系统）相连，该系统负责调度和控制整个生产线的运行。晶圆Sorter接收来自MES的任务指令，并根据生产计划和优先级安排晶圆的传输和处理。
>>>> 3. 自动化搬运
自动化传输系统利用机械臂、传送带或真空吸盘等技术，自动将晶圆从一个地方移动到另一个地方，例如从晶圆库存（Stocker）到加工设备，或从一个加工站传输到另一个加工站。
>>>> 4. 洁净室环境
为了保持晶圆的洁净度，自动化传输系统通常在洁净室内运行，确保晶圆在传输过程中不受污染。此外，传输系统还可能配备有局部洁净环境，如HEPA过滤罩，以进一步保护晶圆。
>>>> 5. 错误检测与纠正
自动化传输系统具备错误检测和纠正功能，能够识别并纠正传输过程中可能出现的问题，如晶圆定位错误、传输失败等。这些系统能够自动调整或通知操作人员进行干预。
>>>> 6. 实时监控与反馈
晶圆Sorter的传输系统配备有传感器和监控设备，实时监控晶圆的状态和位置。这些信息被反馈给中央控制系统，用于优化生产流程和提高生产效率。
>>>> 7. 与辅助设备的协同
自动化传输系统还与辅助设备（如气氛控制、温度调节、湿度控制等）协同工作，确保晶圆在适宜的环境中传输和处理，以满足半导体制造的严格要求。
01、Sorter 在CIM系统中的整体建模思路
大致如下，需要EAP的支持，可以和RTD协同；
02、Sorter开发需要的界面操作：
- Transfer Lot: 产品换同种类型的FOUP
- Change Slot Map Info: 更改FOUP内产品的位置
- Exchange Carrier: 产品换不同种类型的FOUP
- Inline Split Setting: 设定产品在将来站点做分批
- Merge Lot: 产品合批
- Split Lot: 产品分批
- Update Component: 更新MES系统上产品的Wafer ID信息
- Wafer Rotate: FOUP内产品转角
- Wafer Verification: 读取FOUP内产品的Wafer ID
- Wafer Verification Result: 查询FOUP内产品的 Wafer ID 的读取结果
- Sorter Cancel Job Prepare: 取消 Sorter 派工
- Sorter Cancel Track In: 取消 Sorter 进站
- Sorter Job Cancel: 取消 Sorter Job
- Sorter Job Prepare: Sorter 派工
- Sorter Track In: Sorter 进站
- Sorter Track Out: Sorter 出站
03、Sorter需要响应的动作：
- Function 支持 Schedule 及 UnSchedule Sorter 场景
- Function 支持 Logical/Physical Split、Merge
- Function 支持 Split、Merge、Transfer Lot、Exchange Carrier、Change Slot Map Info、Wafer Roate、Wafer Verification、UpdateComment 操作功能
- Function 提供 In-Line Split 规则配置功能
04、Full Auto与Sorter:
12寸晶圆厂，Sorter机通常与晶圆厂物料传输系统（如AMHS）集成，实现全自动化的晶圆搬运流程。Load port作为晶圆进出设备的通道，起到关键作用
- 相同Sorter Job的Lot同时派工
- 派工时考虑Source Lot、Target Lot、Source Carrier、Target Carrier的状态
- Sorter机台 支持 Single、 1:1、1:N、N:1 的 Sorter 派工自动化 ，同时 Track Out 考量 (需要确认 Couple Port 条件)
- 同时 Mother Lot Track Out 考量是否存在未进行的 Job ，机台等待的功能支持
- Wafer Start 自动化 支持 Wafer Stocker (集成 Sorter 功能) 的 Wafer Start 自动化
05、EAP与Sorter
自动化Sorter机能够记录和存储分选过程中的数据，及时反馈给上位制造系统，帮助企业优化生产流程
- 晶圆ID与Slot ID的映射关系(Internal Buffer、Sorter等)
- 晶圆作业信息，从sorter机中的抓取Sorter机在分选过程中产生的数据，并将这些数据上传到MES系统，帮助企业优化生产流程和进行数据分析
06、Sorter 自动化后可以实现的管理效益
- 提高生产效率:与人工分选相比，晶圆分选机能够24小时无间断内处理晶圆，提高生产线的吞吐量。
- 提高生产质量:在自动化的分选过程，可以减少人为因素对产品质量的影响，提高产品的一致性和可靠性。
- 减少人力成本:自动化程度高，晶圆分选机的操作简单，只需要少量的人员进行监控和维护即可，减少了人工分选的需求，降低了人力成本。
- 数据记录和分析:晶圆分选机能够记录和存储分选过程中的数据，可以及时反馈给上位制造系统，帮助企业优化生产流程。
